用于玻璃基板搬送卡匣上,完成定位 适用于各制程的玻璃储藏结构
● 产品用途:特殊軸承构造非常顺畅的作动,能令玻璃卡匣移送载具轻松完成定位的stage ● 产品性能:荷重150kgf~800kgf ;摩擦系数低、专业的軸承构成,耐久性佳;模组化设计、安装容易 ● 荷载释放后,可迅速恢复至原点待命,提供气压锁定功能产品,防止晃动,适用于各制程的玻璃储藏结构 ● 符合无尘室使用要求,可提供客制品